Id-disinn ottiku għandu firxa wiesgħa ta' applikazzjonijiet fil-qasam tas-semikondutturi. F'magna tal-fotolitografija, is-sistema ottika hija responsabbli biex tiffoka r-raġġ tad-dawl emess mis-sors tad-dawl u tipproġettah fuq il-wejfer tas-silikon biex tesponi l-mudell taċ-ċirkwit. Għalhekk, id-disinn u l-ottimizzazzjoni tal-komponenti ottiċi fis-sistema tal-fotolitografija huma mod importanti biex tittejjeb il-prestazzjoni tal-magna tal-fotolitografija. Dawn li ġejjin huma wħud mill-komponenti ottiċi użati fil-magni tal-fotolitografija:
Objettiv tal-projezzjoni
01 L-objettiv tal-projezzjoni huwa komponent ottiku ewlieni f'magna tal-litografija, ġeneralment jikkonsisti f'serje ta' lentijiet inklużi lentijiet konvessi, lentijiet konkavi, u priżmi.
02 Il-funzjoni tiegħu hija li jiċkien id-disinn taċ-ċirkwit fuq il-maskra u jiffokah fuq il-wejfer miksi bil-fotoreżist.
03 L-eżattezza u l-prestazzjoni tal-objettiv tal-projezzjoni għandhom influwenza deċiżiva fuq ir-riżoluzzjoni u l-kwalità tal-immaġini tal-magna tal-litografija
Mera
01 Mirjajintużaw biex jibdlu d-direzzjoni tad-dawl u jidderieġuh fil-post korrett.
02 Fil-magni tal-litografija EUV, il-mirja huma partikolarment importanti għaliex id-dawl EUV jiġi assorbit faċilment mill-materjali, għalhekk iridu jintużaw mirja b'riflettività għolja.
03 L-eżattezza tal-wiċċ u l-istabbiltà tar-riflettur għandhom ukoll impatt kbir fuq il-prestazzjoni tal-magna tal-litografija.
Filtri
01 Il-filtri jintużaw biex ineħħu wavelengths tad-dawl mhux mixtieqa, u b'hekk itejbu l-eżattezza u l-kwalità tal-proċess tal-fotolitografija.
02 Billi tagħżel il-filtru xieraq, jista' jiġi żgurat li dawl ta' wavelength speċifiku biss jidħol fil-magna tal-litografija, u b'hekk tittejjeb l-eżattezza u l-istabbiltà tal-proċess tal-litografija.
Priżmi u komponenti oħra
Barra minn hekk, il-magna tal-litografija tista' tuża wkoll komponenti ottiċi awżiljarji oħra, bħal priżmi, polarizzaturi, eċċ., biex tissodisfa rekwiżiti speċifiċi tal-litografija. L-għażla, id-disinn u l-manifattura ta' dawn il-komponenti ottiċi għandhom isegwu b'mod strett l-istandards u r-rekwiżiti tekniċi rilevanti biex jiżguraw il-preċiżjoni u l-effiċjenza għolja tal-magna tal-litografija.
Fil-qosor, l-applikazzjoni ta' komponenti ottiċi fil-qasam tal-magni tal-litografija għandha l-għan li ttejjeb il-prestazzjoni u l-effiċjenza tal-produzzjoni tal-magni tal-litografija, u b'hekk tappoġġja l-iżvilupp tal-industrija tal-manifattura tal-mikroelettronika. Bl-iżvilupp kontinwu tat-teknoloġija tal-litografija, l-ottimizzazzjoni u l-innovazzjoni tal-komponenti ottiċi se jipprovdu wkoll potenzjal akbar għall-manifattura ta' ċipep tal-ġenerazzjoni li jmiss.
Għal aktar tagħrif u pariri esperti, żur il-websajt tagħna fuqhttps://www.jiujonoptics.com/biex titgħallem aktar dwar il-prodotti u s-soluzzjonijiet tagħna.
Ħin tal-posta: 02 ta' Jannar 2025
