Id-disinn ottiku għandu firxa wiesgħa ta 'applikazzjonijiet fil-qasam tas-semikondutturi. F'magna tal-fotolitografija, is-sistema ottika hija responsabbli biex tiffoka r-raġġ tad-dawl li joħroġ mis-sors tad-dawl u jipproġettah fuq il-wejfer tas-silikon biex jesponi l-mudell taċ-ċirkwit. Għalhekk, id-disinn u l-ottimizzazzjoni tal-komponenti ottiċi fis-sistema tal-fotolitografija huma mod importanti biex titjieb il-prestazzjoni tal-magna tal-fotolitografija. Dawn li ġejjin huma wħud mill-komponenti ottiċi użati fil-magni tal-fotolitografija:
Objettiv tal-projezzjoni
01 L-objettiv tal-projezzjoni huwa komponent ottiku ewlieni f'magna tal-litografija, ġeneralment li tikkonsisti f'serje ta 'lentijiet li jinkludu lentijiet konvessi, lentijiet konkavi, u priżmi.
02 Il-funzjoni tiegħu hija li tiċkien il-mudell taċ-ċirkwit fuq il-maskra u tiffokaha fuq il-wejfer miksi bil-fotoreżist.
03 L-eżattezza u l-prestazzjoni tal-objettiv tal-projezzjoni għandhom influwenza deċiżiva fuq ir-riżoluzzjoni u l-kwalità tal-immaġini tal-magna tal-litografija
Mera
01 Mirjajintużaw biex ibiddlu d-direzzjoni tad-dawl u jidderieġuha lejn il-post korrett.
02 Fil-magni tal-litografija tal-EUV, il-mirja huma partikolarment importanti minħabba li d-dawl tal-EUV jiġi assorbit faċilment minn materjali, u għalhekk għandhom jintużaw mirja b'riflettività għolja.
03 L-eżattezza tal-wiċċ u l-istabbiltà tar-riflettur għandhom ukoll impatt kbir fuq il-prestazzjoni tal-magna tal-litografija.
Filtri
01 Filtri jintużaw biex jitneħħew tulijiet ta 'mewġ mhux mixtieqa, u jtejbu l-eżattezza u l-kwalità tal-proċess tal-fotolitografija.
02 Billi tagħżel il-filtru xieraq, jista 'jkun assigurat li dawl biss ta' tul ta 'mewġa speċifiku jidħol fil-magna tal-litografija, u b'hekk itejjeb l-eżattezza u l-istabbiltà tal-proċess tal-litografija.
Priżmi u komponenti oħra
Barra minn hekk, il-magna tal-litografija tista 'wkoll tuża komponenti ottiċi awżiljari oħra, bħal priżmi, polarizzaturi, eċċ., Biex tissodisfa r-rekwiżiti speċifiċi tal-litografija. L-għażla, id-disinn u l-manifattura ta 'dawn il-komponenti ottiċi għandhom isegwu strettament l-istandards u r-rekwiżiti tekniċi rilevanti biex jiżguraw il-preċiżjoni u l-effiċjenza għolja tal-magna tal-litografija.
Fil-qosor, l-applikazzjoni ta 'komponenti ottiċi fil-qasam tal-magni tal-litografija għandha l-għan li ttejjeb il-prestazzjoni u l-effiċjenza tal-produzzjoni tal-magni tal-litografija, u b'hekk tappoġġja l-iżvilupp tal-industrija tal-manifattura tal-mikroelettronika. Bl-iżvilupp kontinwu tat-teknoloġija tal-litografija, l-ottimizzazzjoni u l-innovazzjoni tal-komponenti ottiċi jipprovdu wkoll potenzjal akbar għall-manifattura ta 'ċipep tal-ġenerazzjoni li jmiss.
Għal aktar għarfien u pariri esperti, żur il-websajt tagħna fuqhttps://www.jiujonoptics.com/Biex titgħallem aktar dwar il-prodotti u s-soluzzjonijiet tagħna.
Ħin ta 'wara: Jan-02-2025
