Id-disinn ottiku għandu firxa wiesgħa ta 'applikazzjonijiet fil-qasam tas-semikondutturi. F'magna fotolitografika, is-sistema ottika hija responsabbli biex tiffoka r-raġġ tad-dawl emess mis-sors tad-dawl u tipproġettaha fuq il-wejfer tas-silikon biex tesponi l-mudell taċ-ċirkwit. Għalhekk, id-disinn u l-ottimizzazzjoni tal-komponenti ottiċi fis-sistema fotolitografika huwa mod importanti biex tittejjeb il-prestazzjoni tal-magna fotolitografika. Dawn li ġejjin huma wħud mill-komponenti ottiċi użati fil-magni fotolitografiċi:
Għan tal-projezzjoni
01 L-għan tal-projezzjoni huwa komponent ottiku ewlieni f'magna tal-litografija, li ġeneralment jikkonsisti f'serje ta' lentijiet inklużi lentijiet konvessi, lentijiet konkavi, u priżmi.
02 Il-funzjoni tiegħu hija li tiċkien il-mudell taċ-ċirkwit fuq il-maskra u tiffoka fuq il-wejfer miksi bil-fotoreżist.
03 L-eżattezza u l-prestazzjoni tal-għan tal-projezzjoni għandhom influwenza deċiżiva fuq ir-riżoluzzjoni u l-kwalità tal-immaġini tal-magna tal-litografija
Mera
01 Mirjajintużaw biex jibdlu d-direzzjoni tad-dawl u jidderieġuh lejn il-post korrett.
02 Fil-magni tal-litografija EUV, il-mirja huma partikolarment importanti minħabba li d-dawl EUV jiġi assorbit faċilment mill-materjali, għalhekk għandhom jintużaw mirja b'riflettività għolja.
03 L-eżattezza tal-wiċċ u l-istabbiltà tar-riflettur għandhom ukoll impatt kbir fuq il-prestazzjoni tal-magna tal-litografija.
Filtri
01 Il-filtri jintużaw biex ineħħu wavelengths tad-dawl mhux mixtieqa, u jtejbu l-eżattezza u l-kwalità tal-proċess tal-fotolitografija.
02 Billi tagħżel il-filtru xieraq, jista 'jiġi żgurat li dawl biss ta' wavelength speċifiku jidħol fil-magna tal-litografija, u b'hekk ittejjeb l-eżattezza u l-istabbiltà tal-proċess tal-litografija.
Priżmi u komponenti oħra
Barra minn hekk, il-magna tal-litografija tista 'wkoll tuża komponenti ottiċi awżiljarji oħra, bħal priżmi, polarizzaturi, eċċ., biex tissodisfa rekwiżiti speċifiċi tal-litografija. L-għażla, id-disinn u l-manifattura ta 'dawn il-komponenti ottiċi għandhom isegwu b'mod strett l-istandards u r-rekwiżiti tekniċi rilevanti biex jiżguraw il-preċiżjoni għolja u l-effiċjenza tal-magna tal-litografija.
Fil-qosor, l-applikazzjoni ta 'komponenti ottiċi fil-qasam tal-magni tal-litografija għandha l-għan li ttejjeb il-prestazzjoni u l-effiċjenza tal-produzzjoni tal-magni tal-litografija, u b'hekk tappoġġja l-iżvilupp tal-industrija tal-manifattura tal-mikroelettronika. Bl-iżvilupp kontinwu tat-teknoloġija tal-litografija, l-ottimizzazzjoni u l-innovazzjoni tal-komponenti ottiċi se jipprovdu wkoll potenzjal akbar għall-manifattura ta 'ċipep tal-ġenerazzjoni li jmiss.
Għal aktar għarfien u pariri esperti, żur il-websajt tagħna fuqhttps://www.jiujonoptics.com/biex titgħallem aktar dwar il-prodotti u s-soluzzjonijiet tagħna.
Ħin tal-post: Jan-02-2025
